薄膜技术与薄膜材料 田民波

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薄膜技术与薄膜材料电子版介绍

关于薄膜及微细加工技术的应用范围，从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、太阳能电池，到材料的表面改性等，涉及高新技术产业的各个领域。本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析等5大部分，涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面，知识全面，脉络清晰。全书共17章，文字通俗易懂，并配有大量图解，有利于对基本知识的理解、掌握与运用。

薄膜技术介绍

薄膜技术(thin film technique)是薄膜制备、测试等相关的各种技术的总称。薄膜技术涉及的范围很广，它包括以物理气相沉积和化学气相沉积为代表的成膜技术，以离子束刻蚀为代表的微细加工技术，成膜、刻蚀过程的监控技术，薄膜分析、评价与检测技术等等。现在薄膜技术在电子元器件、集成光学、电子技术、红外技术、激光技术以及航天技术和光学仪器等各个领域都得到了广泛的应用，它们不仅成为一间独立的应用技术，而且成为材料表面改性和提高某些工艺水平的重要手段

薄膜技术与薄膜材料目录

第1章 薄膜与高新技术

第2章 真空技术基础

2.1　真空的基本知识

2.2　真空的表征

2.3　气体分子与表面的相互作用

第3章 真空泵与真空规

3.1　真空泵

3.2　真空测量仪器——总压强计

第4章 真空装置的实际问题

4.1　排气的基础知识

4.2　材料的放气

4.3　排气时间的估算

4.4　实用的排气系统

4.5　检漏

4.6　大气温度与湿度对装置的影响

4.7　烘烤用的内部加热器

4.8　化学活性气体的排气

第5章 气体放电和低温等离子体

5.1　带电粒子在电磁场中的运动

5.2　气体原子的电离和激发

5.3　气体放电发展过程

5.4　低温等离子体概述

5.5　辉光放电

5.6　弧光放电

5.7　高频放电

5.8　磁控放电

5.9　低压力、高密度等离子体放电